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早在年前基金给的500亿投资款即时到账后，前沿就分出来多达76亿的资金款来筹备生产白泽半导体一二期所需要的duv光刻机。

根据相关规划，为了实现年产百万片12寸晶圆，需要38台光刻机。

这还是在当时预计清华能解决‘工件台系统’稳定性的可能下。

好在，去年海量资金的投入和基金投资及时到来，总算是搞定了所有核心部件。

前沿向上微电的委托订单，根本就没有因外部环境的变化而中断。

所以，预计顶多半年后这批光刻机就能下线。

而且这批光刻机按理论上的设计标准是能支持28~10纳米这中间几个阶段工艺的光刻。

只需要升级核心部件即可。

2013年开年就有这等好消息，方年心情很是愉悦，起码是解决了一桩大事，有了最基本的底气。

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